LINE DEFECTS AND ETCH TUNNELS IN SYNTHETIC QUARTZ

被引:31
作者
IWASAKI, F [1 ]
机构
[1] KINSEKISHA LAB LTD,KOMAE,TOKYO,JAPAN
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(77)90277-9
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页数:8
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