GROWTH MORPHOLOGY AND SURFACE-ACOUSTIC-WAVE MEASUREMENTS OF AIN FILMS ON SAPPHIRE

被引：5

作者：

LAKIN, KM ^{[1
]}

LIU, JK ^{[1
]}

WANG, KL ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV SO CALIF,LOS ANGELES,CA 90007

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568896

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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