AUTOMATION FEATURES IN THE 160-XP HIGH-CURRENT IMPLANTER

被引：1

作者：

HARADA, M

GEARY, C

OUTCAULT, R

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1989年 / 37-8卷

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(89)90239-5

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：528 / 532

页数：5

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共 2 条

[1]

HARRIS M, 1988, 7TH INT C ION IMPL T

[2] INTELLIGENT PERFORMANCE OPTIMIZATION FOR A FULLY-AUTOMATIC HIGH-CURRENT ION-IMPLANTATION SYSTEM [J].

WONSON, C ;

THOMPSON, T .

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1987, 21 (2-4) :523-525