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A SUPER THIN-FILM TRANSISTOR IN ADVANCED POLY SI FILMS
被引：22
作者：
OHSHIMA, T
NOGUCHI, T
HAYASHI, H
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1986年
/
25卷
/
04期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.25.L291
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L291 / L293
页数：3
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