VOID FORMATION IN ANNEALED N+-IMPLANTED ZNSE

被引：3

作者：

VERMAAK, JS

PETRUZZELLO, J

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.333165

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1215 / 1217

页数：3

共 7 条

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