SPATIAL PROFILES OF ELECTRON-DENSITY IN THE INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

被引:70
作者
CAUGHLIN, BL
BLADES, MW
机构
关键词
D O I
10.1016/0584-8547(85)80068-9
中图分类号
O433 [光谱学];
学科分类号
0703 ; 070302 ;
摘要
引用
收藏
页码:987 / 993
页数:7
相关论文
共 15 条