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被引:13
作者
ERICKSON, LP
CARPENTER, GL
SEIBEL, DD
PALMBERG, PW
PEARAH, P
KOPP, W
MORKOC, H
机构
[1] UNIV ILLINOIS,DEPT ELECT ENGN,URBANA,IL 61801
[2] UNIV ILLINOIS,COORDINATED SCI LAB,URBANA,IL 61801
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1985年 / 3卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.583171
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:536 / 537
页数:2
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