MOLECULAR-BEAM EPITAXY BEAM FLUX MODELING

被引：25

作者：

CURLESS, JA

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1985年 / 3卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583169

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：531 / 534

页数：4

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共 2 条

HERMAN, MA .

SHEN, LYL .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1978, 15 (01) :10-12