MECHANISM OF A HYDROGENATING POLYCRYSTALLINE SILICON IN HYDROGEN PLASMA ANNEALING

被引：6

作者：

NAKAZAWA, K

ARAI, H

KOHDA, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.98575

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1623 / 1625

页数：3

共 6 条

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