HIGH-SPEED AUTOMATIC ELLIPSOMETER FOR INDUSTRIAL USES

被引：3

作者：

KASAI, T ^{[1
]}

机构：

[1] NIPPON KOGAKU KK,RES LABS,SHINAGAWA KU,TOKYO,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1134814

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：1044 / 1048

页数：5

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共 5 条

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[No title captured]