VAPOR DEPOSITION OF PURE RUTHENIUM METAL FROM RUTHENOCENE

被引:42
作者
TRENT, DE
KRAUSE, HH
PARIS, B
机构
关键词
D O I
10.1021/ic50017a041
中图分类号
O61 [无机化学];
学科分类号
070301 ; 081704 ;
摘要
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页码:1057 / &
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共 3 条
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