CHARACTERIZATION OF SPUTTERED ZINC-SULFIDE FILMS

被引：11

作者：

EMMA, T

MCDONOUGH, M

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1984年 / 2卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.572740

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：362 / 364

页数：3

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共 2 条

[1]

Inoguchi T., 1974, INT S SID, P84

[2]

SCHONBRODT L, 1981, THIN SOLID FILMS, V81