THERMAL-CONDUCTIVITY OF DIAMOND FILMS SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CVD

被引:86
作者
ONO, A
BABA, T
FUNAMOTO, H
NISHIKAWA, A
机构
[1] Natl Research Lab of Metrology, Tsukuba, Jpn, Natl Research Lab of Metrology, Tsukuba, Jpn
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1986年 / 25卷 / 10期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.25.L808
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:L808 / L810
页数:3
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