ELECTRON-BEAM-INDUCED REFRACTIVE-INDEX CHANGE OF AMORPHOUS-SEMICONDUCTORS

被引:34
作者
SUHARA, T [1 ]
NISHIHARA, H [1 ]
KOYAMA, J [1 ]
机构
[1] OSAKA UNIV,FAC ENGN,DEPT ELECTR,SUITA,OSAKA,JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.14.1079
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1079 / 1080
页数:2
相关论文
共 6 条