HIGH-TC Y-BA-CU-O THIN-FILMS PREPARED BY DUAL MAGNETRON SPUTTERING

被引:24
作者
ASANO, H
TANABE, K
KATOH, Y
KUBO, S
MICHIKAMI, O
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS | 1987年 / 26卷 / 07期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.26.L1221
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:L1221 / L1222
页数:2
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