NON-DESTRUCTIVE DETERMINATION OF RESIDUAL-STRESSES IN CIRCULAR SILICON-WAFERS

被引：7

作者：

ANDONIAN, AT

DANYLUK, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0093-6413(84)90017-X

中图分类号：

O3 [力学];

学科分类号：

08 ; 0801 ;

摘要：

引用

页码：97 / 104

页数：8

共 16 条

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