CYCLOTRON-RESONANCE CHARACTERIZATION OF ION-IMPLANTED CARRIERS IN SEMICONDUCTORS

被引：7

作者：

KAPLAN, R ^{[1
]}

WAGNER, RJ ^{[1
]}

机构：

[1] USN,RES LAB,WASHINGTON,DC 20375

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569016

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：899 / 902

页数：4