MODIFICATION TO ENHANCE BEAM CURRENT OF A SIMPLE ION GUN

被引：3

作者：

DOVE, DB ^{[1
]}

MOLZEN, W ^{[1
]}

JOHNSON, G ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP TJ WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1976年 / 47卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1134607

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：299 / 300

页数：2

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共 1 条

[1] USE OF AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY AND INERT-GAS SPUTTERING FOR OBTAINING CHEMICAL PROFILES [J].

PALMBERG, PW .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1972, 9 (01) :160-&