COMPOSITION VARIATIONS AS A FUNCTION OF EJECTION ANGLE IN SPUTTERING OF ALLOYS

被引：57

作者：

OLSON, RR ^{[1
]}

WEHNER, GK ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV MINNESOTA,DEPT ELECT ENGN,MINNEAPOLIS,MN 55455

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569198

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：319 / 321

页数：3