SN-CONTAINING PLASMA FILMS APPLICABLE FOR GAS SENSOR DEVICES

被引:11
作者
INAGAKI, N
HASHIMOTO, Y
机构
关键词
D O I
10.1002/pol.1986.140240903
中图分类号
O63 [高分子化学(高聚物)];
学科分类号
070305 ; 080501 ; 081704 ;
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页数:5
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