A CLOSED SYSTEM FABRICATION OF CHROMIUM SILICIDE THIN-FILM RESISTORS

被引：1

作者：

KARULKAR, PC

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(84)90307-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：259 / 262

页数：4

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