DIFFUSION OF IRON AND GOLD IN SILICON ANNEALED WITH MILLISECOND PULSES

被引：3

作者：

ANTONOVA, IV

KADYRAKUNOV, KB

NIDAEV, EV

SMIRNOV, LS

机构：

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1983年 / 76卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210760269

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：K213 / K215

页数：3

共 6 条

[1]

DVURECHENSKII AV, 1982, IMPULSNII OTZHIG POL

[2]

KACHURIN GA, 1977, FIZ TEKH POLUPROV, V11, P2012

LANG, DV .

[4]

NIDAEV VE, 1981, ELEKTRONNAYA TEKH, V2, P50

[5] SOLUBILITY AND DIFFUSIVITY OF GOLD, IRON, AND COPPER IN SILICON [J].

STRUTHERS, JD .

[6]

WILEOX WR, 1964, J APPL PHYS, V33, P240