COPPER-BASED METALLIZATION FOR ULSI APPLICATIONS

被引：44

作者：

LI, J

BLEWER, R

MAYER, JW

机构：

[1] ARIZONA STATE UNIV,CTR SOLID STATE SCI,TEMPE,AZ 85287

[2] SANDIA NATL LABS,DEPT ADV SILICON PROJECTS,ALBUQUERQUE,NM 87185

[3] SANDIA NATL LABS,CONTAMINAT FREE MFG RES CTR,ALBUQUERQUE,NM 87185

[4] UNIV NEW MEXICO,ALBUQUERQUE,NM 87131

[5] CORNELL UNIV,ITHACA,NY 14853

来源：

关键词：

D O I：

10.1557/S088376940004728X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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