AN INFRARED STUDY OF THE PRODUCTION, DIFFUSION AND COMPLEXING OF INTERSTITIAL BORON IN ELECTRON-IRRADIATED SILICON

被引:41
作者
TIPPING, AK
NEWMAN, RC
机构
关键词
D O I
10.1088/0268-1242/2/7/001
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:389 / 398
页数:10
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