AN ORGANO-SILICON NOVALAC RESIN FOR MULTILEVEL RESIST APPLICATIONS

被引：30

作者：

WILKINS, CW

REICHMANIS, E

WOLF, TM

SMITH, BC

机构：

[1] AT&T Bell Lab, Murray Hill, NJ,, USA, AT&T Bell Lab, Murray Hill, NJ, USA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1985年 / 3卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583251

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：306 / 309

页数：4