OPTICAL LITHOGRAPHY

被引:143
作者
DILL, FH [1 ]
机构
[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HEIGHTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1975.18158
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:440 / 444
页数:5
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