NEW FABRICATION PROCESS FOR A-SI PHOTOVOLTAIC DEVICES USING CYLINDRICAL DIODE GLOW-DISCHARGE

被引:9
作者
MINOMURA, S [1 ]
TSUJI, K [1 ]
HIRAGA, T [1 ]
MATSUMURA, M [1 ]
FUKUI, K [1 ]
YOSHIDA, T [1 ]
OKAYASU, Y [1 ]
机构
[1] TOA NENRYO KOGYO CO LTD,TOKYO 100,JAPAN
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(83)90363-0
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:1119 / 1122
页数:4
相关论文
共 2 条