NEW FABRICATION PROCESS FOR A-SI PHOTOVOLTAIC DEVICES USING CYLINDRICAL DIODE GLOW-DISCHARGE

被引：9

作者：

MINOMURA, S ^{[1
]}

TSUJI, K ^{[1
]}

HIRAGA, T ^{[1
]}

MATSUMURA, M ^{[1
]}

FUKUI, K ^{[1
]}

YOSHIDA, T ^{[1
]}

OKAYASU, Y ^{[1
]}

机构：

[1] TOA NENRYO KOGYO CO LTD,TOKYO 100,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(83)90363-0

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页数：4