PARTICLES AND PARTICLE-TRANSPORT IN ION IMPLANTERS

被引：5

作者：

DOUGLASHAMILTON, DH

TAYLOR, C

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1985年 / 6卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(85)90633-0

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：196 / 201

页数：6

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