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BORON AND PHOSPHORUS ION EMISSIONS FROM A CU-P-PT-B LIQUID-METAL ION-SOURCE
被引：13
作者：
UMEMURA, K
ISHITANI, T
TAMURA, H
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1986年
/
25卷
/
11期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.25.L885
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L885 / L887
页数：3
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