IMPURITY ATOM DISTRIBUTION FROM 2-STEP DIFFUSION PROCESS

被引：25

作者：

KENNEDY, DP

MURLEY, PC

机构：

来源：

PROCEEDINGS OF THE IEEE | 1964年 / 52卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1109/PROC.1964.3018

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：620 / &

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CARLSLAW HS, 1959, CONDUCTION HEAT SOLI, pCH10