A HYDROGEN PLASMA DIAGNOSTIC BASED ON PD METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR DIODES

被引：10

作者：

BASTASZ, R ^{[1
]}

HUGHES, RC ^{[1
]}

机构：

[1] SANDIA NATL LABS,ALBUQUERQUE,NM 87185

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1986年 / 4卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.573860

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页数：2