CHARACTERIZATION OF AIN FILMS PRODUCED BY CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION USING A NOVEL METAL AZIDE PRECURSOR

被引：20

作者：

SCHULZE, RK

MANTELL, DR

GLADFELTER, WL

EVANS, JF

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.575208

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2162 / 2163

页数：2