SPATIAL-DISTRIBUTION OF IONS IMPLANTED INTO SOLIDS SUBJECT TO DIFFUSION, LOCAL TRAPPING AND SURFACE SPUTTERING

被引：12

作者：

CARTER, G

COLLINS, R

机构：

[1] UNIV SALFORD,DEPT ELECT ENGN,SALFORD M5 4WT,ENGLAND

[2] UNIV SALFORD,DEPT MATH,SALFORD M5 4WT,ENGLAND

来源：

RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS | 1976年 / 28卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1080/00337577608233040

中图分类号：

TL [原子能技术]; O571 [原子核物理学];

学科分类号：

0827 ; 082701 ;

摘要：

引用

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页数：3