METHODS FOR DEFECT EVALUATION OF THIN (100) ORIENTED SILICON EPITAXIAL LAYERS USING A WET CHEMICAL ETCH

被引：12

作者：

ARCHER, VD

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2124371

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：2074 / 2076

页数：3

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共 7 条

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