FORMATION OF SEMICONDUCTOR EPITAXIAL-FILMS BY PULSE HEATING CRYSTALLIZATION OR REGROWTH

被引：14

作者：

ALEKSANDROV, LN

机构：

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1983年 / 76卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210760121

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：179 / 190

页数：12

共 51 条

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