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ON THE REACTION-MECHANISM OF THE PYROLYSES OF TMG AND TEG IN MOCVD GROWTH REACTORS
被引：28
作者：
TSUDA, M
OIKAWA, S
MORISHITA, M
MASHITA, M
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1987年
/
26卷
/
05期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.26.L564
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L564 / L566
页数：3
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