LOW-TEMPERATURE POLYSILICON SUPER-THIN-FILM TRANSISTOR (LSFT)

被引：67

作者：

NOGUCHI, T

HAYASHI, H

OHSHIMA, T

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1986年 / 25卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.25.L121

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L121 / L123

页数：3

共 6 条

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