THE SOMSEM - AN SEM-BASED SCANNING OPTICAL MICROSCOPE

被引：3

作者：

MAHER, EF

机构：

来源：

SCANNING | 1985年 / 7卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/sca.4950070201

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

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页码：61 / 65

页数：5

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