MECHANISMS AND KINETICS STUDY OF POLYMERIC THIN-FILM DEPOSITION IN GLOW-DISCHARGE

被引：20

作者：

LAM, DK

BADDOUR, RF

STANCELL, AF

机构：

[1] MIT,DEPT CHEM ENGN,CAMBRIDGE,MA 02139

[2] MOBIL CHEM CO,NEW YORK,NY 10017

来源：

JOURNAL OF MACROMOLECULAR SCIENCE-CHEMISTRY | 1976年 / A 10卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1080/00222337608061191

中图分类号：

O63 [高分子化学（高聚物）];

学科分类号：

070305 ; 080501 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：421 / 450

页数：30

共 15 条

[1]

BRID RB, 1960, TRANSPORT PHENOMENA, P505

[2]

BROWN SC, 1966, INTRO ELECTRICAL DIS

[3] FORMATION OF THIN POLYMER FILMS BY ELECTRON BOMBARDMENT [J].

CHRISTY, RW .

[4] GLOW DISCHARGE POLYMERIZATION-STYRENE [J].

DENARO, AR ;

OWENS, PA ;

CRAWSHAW, A .

[5]

Eckert E.R., 1959, HEAT MASS TRANSFER, Vsecond

[6]

FLORY PJ, 1953, PRINCIPLES POLYMER C

[7]

KONDRATEV VN, 1964, CHEMICAL KINETICS GA, P138

[8]

POLAK L, 1971, REACTIONS UNDER PLAS, V2

[9]

SEARS FW, 1953, THERMODYNAMICS KINET, P239

[10]

Thomas JM., 1967, INTRO PRINCIPLES HET