DEPOSITION OF ULTRA FINE PARTICLES USING A GAS-JET

被引：79

作者：

KASHU, S

FUCHITA, E

MANABE, T

HAYASHI, C

机构：

[1] Ultra Fine Particles in Research, & Development Corp of Japan,, Project of Hayashi, Tokyo, Jpn, Ultra Fine Particles in Research & Development Corp of Japan, Project of Hayashi, Tokyo, Jpn

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1984年 / 23卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.23.L910

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L910 / L912

页数：3