DEVELOPMENT OF AN ELECTRET MICROPHONE IN SILICON

被引：32

作者：

SPRENKELS, AJ ^{[1
]}

GROOTHENGEL, RA ^{[1
]}

VERLOOP, AJ ^{[1
]}

BERGVELD, P ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV TWENTE,7500 AE ENSCHEDE,NETHERLANDS

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 17卷 / 3-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(89)80038-1

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：509 / 512

页数：4