SILICON NITRIDE A NEW DIFFUSION MASK

被引：41

作者：

DOO, VY

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1966年 / ED13卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1966.15735

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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页码：561 / &

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共 1 条

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DOO VY, 1965, OCT EL SOC M BUFF