AL-SI CONTACTS FORMED BY ION IRRADIATION AND POST-ANNEALING

被引：13

作者：

HUNG, LS ^{[1
]}

MAYER, JW ^{[1
]}

ZHANG, M ^{[1
]}

WOLF, ED ^{[1
]}

机构：

[1] CORNELL UNIV,SCH ELECT ENGN,NATL RES & RESOURCE FACIL SUBMICRON STRUCT,ITHACA,NY 14853

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.94249

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1123 / 1125

页数：3

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共 15 条

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