MGO FILMS DEPOSITED BY CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:26
作者
KAMATA, K
SHIBATA, Y
KISHI, Y
机构
关键词
D O I
10.1007/BF00724383
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:423 / 426
页数:4
相关论文
共 13 条