TITANIUM NITRIDE CRYSTAL-GROWTH WITH PREFERRED ORIENTATION BY DYNAMIC MIXING METHOD

被引：30

作者：

KIUCHI, M

TOMITA, M

FUJII, K

SATOU, M

SHIMIZU, R

机构：

[1] Government Industrial Research Inst, Osaka, Jpn, Government Industrial Research Inst, Osaka, Jpn

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1987年 / 26卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.26.L938

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L938 / L940

页数：3