ELECTRICAL-RESISTANCE OF METALLIZED VIA-HOLES

被引:1
作者
HALL, PM [1 ]
机构
[1] BELL TEL LABS INC,ALLENTOWN,PA 18103
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.568629
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:88 / 91
页数:4
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共 2 条
[1]  
DAVIS RH, 1974, J VAC SCI T, V11, P87
[2]  
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