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FORMATION OF POLYCRYSTALLINE SIC IN ECR PLASMA
被引：25
作者：
CHAYAHARA, A
MASUDA, A
IMURA, T
OSAKA, Y
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1986年
/
25卷
/
07期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.25.L564
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L564 / L566
页数：3
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