ISOTOPE-SEPARATION DURING SILICIDE FORMATION BY SOLID-STATE REACTION AND ITS RELATION WITH THE GROWTH LIMITING MECHANISM

被引:2
作者
GAS, P [1 ]
ZARING, C [1 ]
PETERSSON, CS [1 ]
SVENSSON, BG [1 ]
OSTLING, M [1 ]
机构
[1] ROYAL INST TECHNOL,S-16428 KISTA,SWEDEN
关键词
D O I
10.1016/0169-4332(89)90538-2
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
引用
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