ALUMINUM SURFACE MODIFICATION BY A NON-MASS-ANALYZED NITROGEN ION-BEAM

被引：15

作者：

OHIRA, S ^{[1
]}

IWAKI, M ^{[1
]}

机构：

[1] INST PHYS & CHEM RES,WAKO,SAITAMA 35101,JAPAN

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1987年 / 21卷 / 2-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(87)90913-X

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

收藏

页码：588 / 590

页数：3

相关论文

共 3 条

[1] SURFACE MECHANICAL-PROPERTIES - EFFECTS OF ION-IMPLANTATION [J].

HERMAN, H .

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS, 1981, 182 (APR) :887-898

[2]

OHIRA S, IN PRESS NUCL INST B

[3] ION-BEAM MODIFICATION OF MATERIALS FOR INDUSTRY [J].

SIOSHANSI, P .

THIN SOLID FILMS, 1984, 118 (01) :61-71