PRACTICAL APPLICATIONS OF ION-IMPLANTATION

被引：20

作者：

DEARNALEY, G

机构：

来源：

JOURNAL OF METALS | 1982年 / 34卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1007/BF03338092

中图分类号：

TF [冶金工业];

学科分类号：

0806 ;

摘要：

引用

页码：18 / 28

页数：11

共 45 条

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